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AVR -2000真空機器人系統提供超潔凈,高真空輸送環境下的高精確性和可靠性的輸送。
Genmark公司的最新機器人系列,G- REX™描述了標準有效載荷300mm和450毫米晶圓輸送工具應用的目前所有的技術規範,是目前市場上最精確的和最高生產量的大氣機器人解決方案。
GPR-GB7SY偏轉-軸(單和雙偏轉)機器人是Genmark采取了公司的先進技術,包括專利的GPR和偏轉技術,以實現自動化輸送物料,目前能夠運送最大450毫米晶圓有效載荷(最大的可靠性和精確度)。
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