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一種“並串聯”機器人及其在材料輸送自動化方面的應用

最近在半導體行業中進行材料輸送的手動機器人可分為三大類：4個自由度（DOF）的機器人（在圓柱坐標工作），6個或以上自由度（DOF）的通用鉸接臂; 6個或以上自由度的混合式並串聯機械臂（結合了圓柱型機器人和一種特殊閉環機構的運動特性，出現於20世紀80年代初以來的工業）

如今，半導體晶圓廠的綜合生產能力正在越來越多的依賴機器人系統（負責小環境內前端和後端的材料輸送）的性能。不論生產工藝如何，交換已加工晶圓與未加工晶圓的時間一直是提高設備生產效率的瓶頸。