GPR-GB9真空機器人系統是Genmark自動化公司的精密輸送機器人的GPR ™產品線的最新成員，3" 和 6"的垂直行程可供使用。
GPR-GB9真空機器人系統在不到10-10 Torr的真空傳輸設備中準確和可重復的輸送半導體晶圓。機器人具有Genmark自動化公司的突破性專利GPR ™系統，以實現最高級別性能，目前可以提供1300/450毫米兼容真空晶圓/ FPD輸送工具。
專利的GPR技術，使伺服控制機器人與未對齊的晶圓盒，FOUPS和過程模塊相兼容並且智能地接口，並且在大型有效載荷輸送過程中提供軟件控制的末端執行器的偏轉補償。
| 配置 | |
| 晶圓尺寸 | 可達450毫米的晶圓 盤片和其他附著物 |
| 機器臂配置 |
2 連桿 7.5"-7.5" 2 連桿 10.5"-10.5" 2 連桿 12.5"-12.5" |
| 末端執行器類型 | 重力 |
| 物理性質 | |
| 尺寸（直徑） | 14" |
| 本體高度 |
3" l行程 - 26.2" 6" 行程 - 29.2" |
| 軸 | 3: T, R, Z. |
| 運動範圍 |
T: 500°
R (重載機器臂): 傾斜： 1.0° |
| 性能 | |
| 有效載荷 |
25lbs (標準機器臂) 33lbs (重載機器臂) |
| 基本工作壓力 | 10E-10 Torr |
| 泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
| 重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| 徑向 ( R ) | 0.001" |
| 旋轉( T ) | 0.01° |
| 垂直( Z ) | 0.001" |
| 可靠性 (MTBF) | > 80,000 小時 |
| 環境 | |
| 潔凈度 | < 1級潔凈室兼容 |
| 晶圓接觸材料 | 鋁，SS，氟化橡膠，真空潤滑脂 |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 | >14M MCBF |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備，它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括：:
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段，來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口，不需要更新機器人固件。
