AVR-2000真空機器人系統提供了超潔凈,高真空處理環境下的高精確性和可靠性的輸送。
特別的運動學和運動傳送設計保證了機器臂的快速運動,零間隙,保證了防止過度外部受力(施加於連桿的)的堅固性。
針對具有重疊流速剖面的多段軌跡而進行的高級運動協調,保證了順利和有效的材料輸送。
AVR-2000具有0.5英寸垂直行程,並提供各種末端執行器選擇,使得機器人輸送多種300毫米晶圓,光罩和FPD到達一個擴展的徑向輸送距離。
配置 | |
晶圓尺寸 | 可達 300毫米 |
機器臂配置 | 2 連桿 8"-8" |
末端執行器類型 | 重力 |
物理性質 | |
尺寸(直徑/長度) | 9.8" |
本體高度 | 10.89" |
軸 | 2: T, R |
運動範圍 |
T: 190° R: -8.2", 15.5' Z: 0" |
性能 | |
有效載荷 | 5lb |
基本工作壓力 | 10E-10 Torr |
泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/-0.001" |
徑向 ( R ) | 0.001" |
旋轉( T ) | 0.01° |
可靠性 (MTBF) | > 80,000小時 |
環境 | |
潔凈度 | <1級潔凈室兼容 |
晶圓接觸材料 | 鋁,SS,氟化橡膠,真空潤滑脂 |
標準符合性 | |
使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A |
驗證符合性的標準 |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
可靠性 | |
可靠性根據 SEMI E10 | >12.7M MCBF |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括::
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。