Genmark自動化公司的Porta R5™是一種專門為自動化標線裝載而設計的BOLTS兼容裝載埠。它采用了透明外殼,最多可容納125毫米標線的6個容器。外殼裝有掃描傳感器,顯示了每 個容器及其裏面標線存在的妥善安置。Porta R5™具有電磁門鎖,伺服驅動標線盒開啟工具,以及提供完全自動化和安全標線存取的隔離門。
配置 | |
兼容性 | BOLTS 兼容 |
載具類型 | 6個125毫米標線載具 |
晶圓尺寸 | 125毫米標線 |
基板類型 | 標線 |
狀態指示燈 | 2個燈 - “放置”和“行動確定” |
操作按鈕 | 一個手動存取按鈕 |
載具傳感器 | 載具安置傳感器 |
晶圓映射 | 標線存在傳感器 |
物理性質 | |
夾緊機構 | 載具加載門的可鎖定聯鎖 |
高度 |
- 帶有小車1385毫米(54.54英寸) - 無小車1336毫米(52.61英寸) |
寬度 | 470毫米 (18.50 英寸) |
驅動 |
- 伺服電機驅動的載具打開機構 - 伺服電機驅動的開門機構 |
性能 | |
可靠性 |
MCBlp > 150K 周期 MCBl > 321.877 周期 MTTR 60 分鐘 可用性 99.89% |
速度 |
裝載4秒 卸載4秒 |
環境 | |
潔凈度 | 在100級環境情況下的1級ANSI |
標準符合性 | |
SEMI |
- E15.1: 裝載埠 - S2 合規性 - S8 工效指南符合性 - E44 微環境下的采購和驗收指南 - E10 可用性 |
其他標準 |
- UBC Zone 4區和S2區的抗震穩定性 - 歐盟機械指令 - 歐盟低電壓指令 - EU EMI/ESD - 符合I300I工廠指南的載具ID讀取器 |
可靠性根據 SEMI E10 | |
MCBF (周期) | > 1M |