Genmark自動化公司的Porta FOSB™是專門為300毫米前開合存儲盒（FOSB）而設計的多功能裝載埠。該設備有一個傾斜的平臺，以便進行安全人工輸送和打開300毫米載具。 Porta FOSB™由伺服驅動的外殼所隔離，提供安全存取晶圓和進入潔凈前端微環境。多功能的設計可以容納150毫米或200毫米開放式晶圓盒。專用載具存在傳感 器顯示了加載載具的大小。由機載計算機和控制器控制，通過一些硬件和軟件的安全聯鎖而保護設備和操作人員。按照所有適用的SEMI標準和I300I指南設 計，Porta FOSB設定了這一類設備在性能，可靠性，功能性方面的基準。
| 配置 | |
| 兼容性 | BOLTS 兼容 |
| 載具類型 |
- FOUP, 25晶圓 - 使用開放式晶圓盒適配器時，25毫米晶圓和150毫米和200毫米晶圓盒 |
| 晶圓尺寸 | 150毫米, 200毫米, 300毫米 |
| 基板類型 | 晶圓 |
| 狀態指示燈 | 2個燈 - “放置”和“行動確定” |
| 載具傳感器 | - FOUP安置 - 150毫米載具安置 - 200毫米載具安置 |
| 物理性質 | |
| 高度 | 1336毫米 (52.30 英寸 |
| 寬度 | 470毫米 (18.50 英寸) |
| 驅動 | - 氣動（加載板的傾斜運動） - 伺服電機驅動頂蓋和側蓋 |
| 性能 | |
| 可靠性 |
MCBlp > 150K 周期 MCBl > 321.877 周期 MTTR 60 分鐘 可用性 99.89% |
| 速度 |
裝載30秒 卸載30秒 |
| 環境 | |
| 潔凈度 | 在100級環境情況下的1級ANSI |
| 標準符合性 | |
| SEMI | - E15.1：加載埠 - S2合規性 - S8工效學準則符合性 - E44微環境下的采購和驗收指南 - E57機械。用於對齊和支持300毫米晶圓載具的運動聯軸器規範 - E10 可用性 |
| 其他標準 |
- UBC Zone 4區和S2區的抗震穩定性 - 歐盟機械指令 - 歐盟低電壓指令 - EU EMI/ESD - 符合I300I工廠指南的載具ID讀取器 |
| 可靠性根據 SEMI E10 | |
| MCBF (周期) | > 1M |
