產品特點

G-Rex4<span class='small-trade'>™</span> Dual Arm Robot System (300/450mm)
 

特性:

  • 更高加速度和生產量的低本體重量
  • 擴展的輸送距離和垂直行程組合
  • 擴展的旋轉運動範圍
  • 無振動晶圓輸送的基於DSP的運動控制器
  • 高級的運動規劃和協調
  • 最優PID定時和增益調度
  • 模塊化設計
  • 可選的快速掃描功能
  • ISO等級1

 

優勢:

  • 卓越的運動性能
  • 低粒子產生和更高的生產量
  • 由於運動部件少,提高了可靠性
  • 最佳的生產量和可重復性
  • 工具的最大正常運行時間
  • 模塊化設計,降低了服務周期時間
  • 易於維護和服務
  • 少於GB4S的預防性維修

G-Rex4 Dual Arm Robot System (300/450mm)

Genmark公司的最新機器人系列,G-Rex4™描述了標準有效載荷300毫米和450毫米晶圓輸送工具應用的目前所有的技術規範,是目前市場上最精確的和最高生產量的大氣機器人解決方案。

G-Rex4™機器人系統提供一種有成本效益的程序包,保證了占用空間小,最佳生產量,可靠性和適用性。它提供了創新的專利申請中的設計,高級控制 方法和EZTeach技術,確保高性能和可靠性。G-Rex4™提供了一種較少部件和運動部件的簡化小批量設計,確保了更高的加速度和速度的改進動態。

G – Rex4™易於安裝,示教,計劃和故障排除。由於它的多功能性,G-Rex4™支持各種工具應用和靈活的定制配置,包括單和雙臂,單和雙葉片末端執行器,真空或邊緣抓取支架。.

規格:

配置  
晶圓尺寸 可達 300毫米
機器臂配置 6.45"-6.45",
8.68"-8.68"
末端執行器類型 真空,邊緣抓取
晶圓映射
物理性質  
尺寸(直徑/長度) 9.8"/20.94"
4 - T, R, R2, Z
運動範圍 T : 70度
R, R2:
 - 6.45" - 6.45": [-8.0", 12.3"]
 - 8.68" - 8.68": [-12.0", 16.5"]
Z: 2", 20"
性能  
有效載荷(動態/靜態) 2 lbs
重復性 T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
環境  
潔凈度 ISO等級1兼容
晶圓接觸材料 Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸漬陽極化處理Al,氧化鋁,不銹
標準符合性  
使用指令/標準 -機器指令89/392/EEC- 89/336/EEC (EMC)
- S2-93A
- S8-95
驗證符合性的標準 - EN 55011
- EN 50082-1
- EN 60204-1
可靠性根據 SEMI E10 >15M MCBF

黑盒選項:

黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括::

  • 設備的正常運行時間,停機時間,制造時間和總運行時間。數據符合SEMI E10-0701標準。
  • 每個電機的轉數
  • 因機器人碰撞造成的超速/加速或過載的故障數
  • 機器人的具體信息,如序列號,校準數據和額外的統計數據。

累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。

黑盒規格

  • 觀察到的機數量:8
  • 存儲介質:64KB閃存
  • 數據保存時間:10年以上
  • 通訊接口:RS232,以太網(可選)。