Genmark公司的最新機器人系列,G-Rex4™描述了標準有效載荷300毫米和450毫米晶圓輸送工具應用的目前所有的技術規範,是目前市場上最精確的和最高生產量的大氣機器人解決方案。
G-Rex4™機器人系統提供一種有成本效益的程序包,保證了占用空間小,最佳生產量,可靠性和適用性。它提供了創新的專利申請中的設計,高級控制 方法和EZTeach技術,確保高性能和可靠性。G-Rex4™提供了一種較少部件和運動部件的簡化小批量設計,確保了更高的加速度和速度的改進動態。
G – Rex4™易於安裝,示教,計劃和故障排除。由於它的多功能性,G-Rex4™支持各種工具應用和靈活的定制配置,包括單和雙臂,單和雙葉片末端執行器,真空或邊緣抓取支架。.
配置 | |
晶圓尺寸 | 可達 300毫米 |
機器臂配置 |
6.45"-6.45", 8.68"-8.68" |
末端執行器類型 | 真空,邊緣抓取 |
晶圓映射 | 無 |
物理性質 | |
尺寸(直徑/長度) | 9.8"/20.94" |
軸 | 4 - T, R, R2, Z |
運動範圍 |
T : 70度 R, R2: - 6.45" - 6.45": [-8.0", 12.3"] - 8.68" - 8.68": [-12.0", 16.5"] Z: 2", 20" |
性能 | |
有效載荷(動態/靜態) | 2 lbs |
重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
環境 | |
潔凈度 | ISO等級1兼容 |
晶圓接觸材料 | Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸漬陽極化處理Al,氧化鋁,不銹 |
標準符合性 | |
使用指令/標準 |
-機器指令89/392/EEC- 89/336/EEC (EMC) - S2-93A - S8-95 |
驗證符合性的標準 |
- EN 55011 - EN 50082-1 - EN 60204-1 |
可靠性根據 SEMI E10 | >15M MCBF |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括::
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。