專為超精密輸送300毫米和450毫米晶圓和大平面而設計，GPR - GB8- TL機器人系統在采用Genmark公司的GPR™專利系統的同時，具有擴展的工作範圍能力和負荷能力。
專利的GPR技術，使伺服控制機器人與未對齊的晶圓盒，FOUP和過程模塊相兼容並且智能地互動，並且在大型有效載荷輸送過程中提供軟件控制的末端執行器的偏轉補償。
GPR-GB8-TL是一個非常強大，結構增強的機器人輸送系統，能夠輸送300/450毫米晶圓應用，標線和平板的重載末端執行器。
GPR-GB7S機器人系統的獨特專利的偏轉技術特點，使它能夠從一個固定的中央位置存取聯機過程模塊，FOUPS和晶圓盒，並且消除機器人周圍的過程和其他各站的徑向安置需要。GPR-GB8-TL機器人系統可適用於2個或3個伸縮平臺配置。
| 配置 | |
| 晶圓尺寸 | 可達 450毫米 |
| 機器臂配置 |
2 連桿 9.25"-9.25" 3 連桿 4.425"8.85"-4.425" 3 連桿 5.95"-11.9"-5.95" 3 連桿 8.05"-16.1"-8.05" 3 連桿 9.25"-18.5"-9.25" |
| 末端執行器類型 |
機器臂配置1 真空或邊緣抓取
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| 晶圓映射 | 反射; 光束 |
| 物理性質 | |
| 尺寸（直徑/長度） | 22.8" 本體直徑 |
| 軸 | 9: T, R, Y, Z, Z1, Z2, L, L1, L2 |
| 運動範圍 |
T: 500° R:- - 8"-8": [-15.2", 15.2"] - 4.425"8.85"-4.435": [-16.8", 16.8"] - 5.95"-11.9"-5.95": [-22.6", 22.6"] - 8.05"-16.1"-8.05": [-30.7", 30.7"] - 9.25"-18.5"-9.25": [-35.15", 35.15"] Z: 30" (組合軸, Z + L) Y: 344° 傾斜： 1.5° |
| 性能 | |
| 有效載荷（動態/靜態） | 5lb |
| 重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
| 環境 | |
| 潔凈度 | ISO等級1兼容 |
| 晶圓接觸材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸漬陽極化處理Al，氧化鋁，不銹 |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 | >15M |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備，它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括：:
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段，來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口，不需要更新機器人固件。
