GPR-GB7SY偏轉-軸(單和雙偏轉)機器人是Genmark采取了公司的先進技術,包括專利的GPR和偏轉技術,以實現自動化輸送物料,目前能夠運送最大450毫米晶圓有效載荷(最大的可靠性和精確度)。
專利的GPR技術是基於6個自由度伺服控制的機器人,它可以與未對齊的晶圓盒,FOUP和過程模塊相兼容並且智能地互動,以及在大型有效載荷輸送過程中提供軟件控制的末端執行器的偏轉補償。
GPR-GB7S機器人系統的獨特專利的偏轉技術特點,使它能夠從一個固定的中央位置存取聯機過程模塊,FOUPS和晶圓盒,並且消除機器人周圍的過程及其他各站的徑向安置需要。
GPR-GB7SY偏轉-軸機器人能夠存取四個聯機FOUPS和相等尺寸的過程模塊,無需在線性軌道上安裝機器人。GPR-GB7SY可以裝有眾多機器臂配置和單或雙末端執行器,從而使其能夠滿足多種半導體制造工具應用的自動化要求。
配置 | |
晶圓尺寸 | 可達 450毫米 |
機器臂配置 |
3 連桿 6"-12"-6" 3 連桿 4"-8"-4" 2 連桿 8"-8' |
末端執行器類型 | 真空,邊緣抓取,重力 |
晶圓映射 | 反射; 光束 |
物理性質 | |
尺寸(直徑/長度) | 9.96" (本體直徑) |
軸 | 6: T, R, Y, Z, Z1, Z2 |
運動範圍 |
T: 500° R: - 6"-12"-6": [-22.8", 22.8] - 4"-8"-4": [-17.1", 17.1"] - 8"-8": [-22.8, 22.8"] Z: 17"; 20" Y: 344° 傾斜: 1.5° |
性能 | |
有效載荷(動態/靜態) | 2.5lbs |
重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
環境 | |
潔凈度 | ISO等級1兼容 |
晶圓接觸材料 | Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸漬陽極化處理Al,氧化鋁,不銹 |
標準符合性 | |
使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A |
驗證符合性的標準 |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
可靠性 | |
可靠性根據 SEMI E10 | >15M |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括::
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。