GB7S機器人系統采用Genmark公司的突破性進展和GPR™ 專利技術,以實現目前能夠提供的自動化晶圓輸送工具的最高級別性能,能夠輸送450毫米直徑的晶圓。專利的GPR技術,能夠使伺服控制機器人與未對齊的晶 圓盒、FOUPS和過程模塊相兼容並且智能地接口,以及在大型有效載荷輸送過程中提供軟件控制的末端執行器的偏轉補償。GPR-GB7S機器人系統的獨特 專利的偏轉技術特點,使它能夠從一個固定的中央位置存取聯機過程模塊,FOUPS和晶圓盒,並且消除了機器人周圍的該過程和其他各站的徑向安置需要。 GB7機器人系統可以有不同的手臂配置,以適應多種SMIF/晶圓盒的前端布局。
配置 | |
晶圓尺寸 | 可達 450毫米 |
機器臂配置 |
3連桿6"-12"6" |
末端執行器類型 | 真空,邊緣抓取,重力 |
晶圓映射 | 反射; 光束 |
物理性質 | |
尺寸(直徑/長度) | 9.96" (本體直徑) |
軸 | 5: T, R, Z, Z1, Z2 |
運動範圍 |
T: 500° R: - 6"-12"-6": [-22.8", 22.8"] - 4"-8"-4"; [-17.1", 17.1"] - 8"-8": [-22.8", 22.8"] Z: 17"; 20" 傾斜: 1.5° |
性能 | |
有效載荷(動態/靜態) | 2.5lbs |
重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
環境 | |
潔凈度 | ISO等級1兼容 |
晶圓接觸材料 | Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸漬陽極處理AI,氧化鋁,不銹鋼 |
標準符合性 | |
使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A |
驗證符合性的標準 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
可靠性 | |
可靠性根據 SEMI E10 | >15M |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括::
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。