Genmark自動化公司的“濕”過程晶圓輸送機器人---GB4S-W機器人系統具有高精度，性能和可靠性的特征。GB4S-W保證了最小占用空 間的濕過程設備的最佳性能和最大工作時間。GB4S-W描述了所有主要問題，如與濕過程應用相關的水分/濕度運行條件（包括CMP和其他應用）所引起的機 器人機構的過早損壞。
GB4S-W機器人具有特殊的承載能力，無與倫比的可靠性和低經營成本，能夠實現“濕”環境下晶圓輸送應用的最高級別性能。GB4S - W機器人系統可以在單和雙晶圓配置，以及不同輸送距離和垂直行程組合的情況下使用。
| 配置 | |
| 晶圓尺寸 | 可達 300毫米 |
| 機器臂配置 | 7.25" -7.25" |
| 末端執行器類型 | 可選翻轉的真空或邊緣抓取 |
| 晶圓映射 | 可選的, 反射 or 光束 |
| 物理性質 | |
| 尺寸（直徑/長度） | 9.76" 本體直徑 |
| 軸 | T，R，Z，E（可選的末端執行器翻轉軸） |
| 運動範圍 |
T: 500 度 R: +/- 14.5" Z: 8" E: 180 度 |
| 性能 | |
| 有效載荷（動態/靜態） | 2lbs |
| 重復性 |
T: +/- 0.01 度 R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" E: +/- 0.01" 度 |
| 環境 | |
| 潔凈度 | ISO等級1兼容 |
| 晶圓接觸材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸漬陽極化處理Al，氧化鋁，不銹 |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 |
機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
| 恢復 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 | >4.8M |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備，它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括：
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段，來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口，不需要更新機器人固件。
