GB4S機器人系統是一個高精度的300毫米晶圓輸送機器人,為標準有效載荷和生產能力的需求提供卓越性能。
大小與Genmark自動化公司的原GB4機器人相同,GB4S具有許多設計改進,機器人的性能和可靠性得到了改進。GB4S機器人是專門為單或雙晶圓輸送而設計的,能夠適用於不同輸送距離和垂直行程組合。
與RPA-0分離式預對準器一道使用的GB4S機器人系統提供了晶圓和標線的高度精確和高度可重復的預對準和輸送系統。它包括通過專門設計的末端執 行器傳送葉片和對準夾頭,起銷,以及專用的運動控制軟件而輸送“薄晶圓”,以保證在克服增加的晶圓下垂和易碎性的同時,實現可靠的材料輸送。也可以選擇一 個翻轉型末端執行器。
配置 | |
晶圓尺寸 | 可達 300毫米 |
機器臂配置 | 5.25"-5.25"; 7.25" -7.25"; 4"-8"-4" |
末端執行器類型 | 真空,邊緣抓取,重力 |
晶圓映射 | 反射; 光束 |
物理性質 | |
尺寸(直徑/長度) | 9.76"(本體直徑)和30.25" |
垂直行程 – 本體高度 |
7" - 13.6" 12" - 18.6" 17" - 23.6" 20" - 26.6" |
軸 | 3 - T, R, Z |
運動範圍 |
T: 500° R: - 5.25"-5.25": [-10.5", 10.5"] - 7.25"-7.25"; [-14.5", 14.5"] - 4"-8"-4": [-16", 16"] Z: 7"; 12"; 17"; 20" |
性能 | |
有效載荷(動態/靜態) | 2lbs |
重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
環境 | |
潔凈度 | ISO等級1兼容 |
晶圓接觸材料 | Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸漬陽極化處理AI,氧化鋁,不銹鋼 |
標準符合性 | |
適用指令/標準 |
機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
驗證符合性的標準 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
恢復 | |
可靠性根據SEMI E10 | >15M MCBF |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括:
累計的信息提供了預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。