裝有集成的晶圓預對準器的GB4P機器人系統,是目前市場上能夠提供,用於可達200毫米晶圓輸送應用、標準有效載荷和生產量的最緊湊型機器人和預對準器包裝。
大小與Genmark自動化公司的原GB4機器人相同,GB4P裝有晶圓直徑從2英寸到8英寸所用的一個內置預對準器。預對準器的調節功能考慮到不同晶圓尺寸的簡單而快速的配置。GB4P機器人是專門為單或雙晶圓輸送而設計的,適用於多種輸送距離和垂直行程的組合。
Genmark 自動化公司的GB4P機器人系統是一個高度精確,可重復和可靠的晶圓(尺寸可達200毫米)輸送和對齊解決方案。
配置 | |
機器臂配置 | 5.25"-5.25"; 7.25" -7.25"; 4"-8"-4" |
末端執行器類型 | 真空,邊緣抓取,重力 |
晶圓映射 | 反射; 光束 |
物理性質 | |
尺寸(直徑/長度) | 9.76" (本體直徑) |
垂直行程---本體高度 |
7" - 13.5" 8.5" - 14.3" 12" - 17.85" 17" - 23.5" 20" - 26.5" |
軸 |
5: 機器人 - T,R,Z軸 預對準器- V(垂直),P(夾頭旋轉) |
運動範圍 |
T: 500° R: - 5.25"-5.25": [-10.5", 10.5"] - 7.25"-7.25"; [-14.5", 14.5"] - 4"-8"-4": [-16", 16"] Z: 7"; 8.5"; 12"; 17"; 20" |
性能 | |
有效載荷(動態/靜態) | 2lbs |
重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
環境 | |
潔凈度 | ISO等級1兼容 |
晶圓接觸材料 | Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸漬陽極處理AI,氧化鋁,不銹鋼 |
標準符合性 | |
使用指令/標準 |
機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
驗證符合性的標準 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
恢復 | |
可靠性根據 SEMI E10 | >15M MCBF |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括:
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。