分離式真空預對準器（IVP）是供所有Genmark真空機器人使用的工程設計，能夠提供真空環境下基板放置的偏心率和方向的準確的非接觸式測量。 在機器人的工作範圍內，該裝置可以任意放置。預對準器的操作包括晶圓位移的測量，必要補償的計算和槽口（或平面）與所需角度的定向。
分離式真空預對準器用於廣泛的應用範圍，無論要對齊的基板的尺寸，形狀，透明度和厚度如何。預對準器可以測量直徑50到300毫米的晶圓和75到200毫米的方形基板。
| 基板 | |
| 類型 | 晶圓, 方基板 |
| 尺寸 |
晶圓: 可達 300毫米, 方形基板：可達200毫米 |
| 平坦或槽口方向 | 平坦，槽口 |
| 平坦，槽口 | |
| 中心偏移量 | 0.002" |
| 角偏移量 | 0.1 度 |
| 初始偏移容差 | 0.5" |
| 最大真空壓力 | 10-8 torr |
| 伺服燈塔間距 | 0.350” |
| 物理性質 | |
| 長度 | 10.685” |
| 寬度 | 6.000” |
| 高度 | 8.050” |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
