獨立式預對準器是一個獨立的設備，能夠提供基板位置的偏心率和方向的準確和非接觸式測量。在大範圍的初始基板–位移而需要高對準精度時，它可以與眾多基板操縱裝置實現集成。
基板可以放置在夾頭或預對準器的可選固定引腳上，這取決於機器人的末端執行器的形狀。夾頭配備兩個伺服軸，X和Y，使之移動到基板下方（當時固定在 引腳上）並且補償任何偏差。獨立式預對準器的操作包括晶圓位移測量，必要補償的計算和槽口（或平面）與所需角度的定向。夾頭運動的高分辨率和準確性保證了 多種基板位移的非常精確的對準。
獨立式預對準器設計用於廣泛的應用範圍，無論要對齊的基板的尺寸，形狀，透明度和厚度如何。定制設計的燈塔保證了固體和透明對象的準確和可靠的測 量。內置的光學系統認可大約6毫米的基板厚度。預對準器可以測量直徑50到300毫米的晶圓和75到200毫米的方形基板。一個可選的移動式燈塔能夠針對 不同基板尺寸而進行軟件控制調整。
| 適用於 | 晶圓, 標線 |
| 晶圓尺寸 | 3", 100毫米, 125毫米, 150毫米, 200毫米, 300毫米 |
| 平坦或槽口方向 | 平坦，槽口 |
| 對準精度 | |
| 中心偏移量 | 0.0005" |
| 角偏移量 | 0.05" |
| 對準時間 |
300毫米晶圓：4秒 200毫米晶圓和以下：3.5秒 |
| 初始偏移容差 | 0.5" |
| 伺服燈塔間距 | 0.35", 0.5" |
| 物理性質 | |
| 垂直行程-本體高度 | 無垂直行程 |
| 長度 | 12" |
| 寬度 | 10" |
| 高度 | 11" |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 / MCBF | >10M |
