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Genmark自動化公司提供一種技術,以調整校準一個典型半導體制造工具所需的時間(從小時到分鐘)。
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邊緣抓取式預對準器是自動設備,能夠在與Genmark公司的邊緣抓取式末端執行器相結合時,提供準確、高效的晶圓對準和優異的性能。
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分離式預對準器(RPA)是一個附加的智能機器人,提供基板放置的偏心率和方向的準確的非接觸式測量。
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獨立式預對準器是一個獨立的設備,能夠提供基板放置的偏心率和方向的準確的非接觸式測量。
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RIVP是供所有Genmark真空機器人使用的工程設計,能夠提供真空環境下基板放置的偏心率和方向的準確的非接觸式測量。
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這種分離式計量裝置,包括3個CCD(電荷耦合器件),旨在與平板輸送機器人一道工作,以確定平板的位置和方向。
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