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Genmark公司的最新機器人系列,G- REX™描述了標準有效載荷300mm和450毫米晶圓輸送工具應用的目前所有的技術規範,是目前市場上最精確的和最高生產量的大氣機器人解決方案。
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Genmark公司的最新機器人系列,G- REX™描述了標準有效載荷300mm和450毫米晶圓輸送工具應用的目前所有的技術規範,是目前市場上最精確的和最高生產量的大氣機器人解決方案。
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GB7S機器人系統采用Genmark公司的突破性進展和GPR™ 專利技術,以實現目前能夠提供的自動化晶圓輸送工具的最高級別性能,能夠輸送450mm直徑的晶圓。
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GPR-GB7SY偏轉-軸(單和雙偏轉)機器人是Genmark采取了公司的先進技術,包括專利的GPR和偏轉技術,以實現自動化輸送物料,目前能夠運送最大450毫米晶圓有效載荷(最大的可靠性和精確度)。
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GPR- GB7- W機器人系統采用密封機構的設計,以防止因暴露於潮濕環境(與CMP自動化有關和要求材料在潮濕的條件下輸送的其他過程應用有關)而造成的內部損壞。
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EVTMHS是一種具有擴展垂直行程的晶圓輸送系統,旨在使用半導體制造工具輸送300mm和450mm晶圓,應用於大升限的方案中。
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裝有集成的晶圓預對準器的GB4P機器人系統,是目前市場上能夠提供,用於可200mm晶圓輸送應用、標準有效載荷和生產量的最緊湊型機器人和預對準器包裝。
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Genmark公司的“濕”過程晶圓輸送機器人,GB4S- W機器人系統具有高精度,高性能和高可靠性的特征。
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專為超精密300/450mm晶圓和大型平面運輸而設計,GPR-GB8機器人系統采用Genmark公司的突破性GPR™專利技術的同時,增加了傳輸距離和負荷能力。
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GPR - GB8- SM是300mm和450mm晶圓自動化輸送應用的一個精確而高性能雙臂機器人。
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