Genmark自動化公司的SortMax200™晶圓分揀機(旨在輸送可達200毫米晶圓),具有卓越的性能。可以配置SortMax200™,以容納最大數量8個的開放式晶圓盒站。
憑著多年的生成橋接工具(整合了不同的過程,如晶圓厚度測量,紫外線清潔/清除和ID應用,這只是其中幾項)的經驗,Genmark自動化公司提供 當今市場上最可靠和服務的200毫米小占用空間的分揀機。多種晶圓映射器,預對準器和末端執行器只是它的許多選項中的一些而已。
完全符合SEMI標準和晶圓廠的要求,Genmark自動化公司的200毫米晶圓分揀機很容易根據SortMax200™客戶不斷變化的需求而進行配置。
Genmark自動化公司的功能強大和可定制的ECS300自動化軟件套件是一項標準功能,如分類,編號,傳送,壓縮,對齊和合並/拆分等。
外殼 | |
基架 | 焊接鋼 |
塗層 | 烘焙粉末塗層 |
容量(堆放) | 總共8個開放式晶圓盒站 |
晶圓尺寸 | 3"- 8" (76 to 200 毫米) |
自動化 | |
大氣機器人 (類型) | GB4S |
末端執行器(類型) | 真空抓取,雙末端執行器 |
預對準器(類型) | 真空抓取夾頭 |
晶圓映射 | 光束 |
用戶界面 | 鍵盤,鼠標,21英寸顯示器 |
軟件界面 |
SECS / GEM通訊 COM / DCOM與其他軟件產品的接口 |
通訊 | RS232 (SECS-I) |
物理性質 | |
長度 | 47.24" |
標準符合性 | |
SEMI |
E30 |
其他標準 |
SECS / GEM通訊 COM / DCOM與其他軟件產品的接口 |
環境 | |
潔凈度 | 1級 |