產品特點

SortMax200<span class='small-trade'>™</span>
 

分揀機的功能包括:

  • 輸送
  • 分開/合並
  • 壓縮
  • 隨機化
  • 晶圓 ID映射
  • 分類
  • 對齊

SortMax200

Genmark自動化公司的SortMax200™晶圓分揀機(旨在輸送可達200毫米晶圓),具有卓越的性能。可以配置SortMax200™,以容納最大數量8個的開放式晶圓盒站。

憑著多年的生成橋接工具(整合了不同的過程,如晶圓厚度測量,紫外線清潔/清除和ID應用,這只是其中幾項)的經驗,Genmark自動化公司提供 當今市場上最可靠和服務的200毫米小占用空間的分揀機。多種晶圓映射器,預對準器和末端執行器只是它的許多選項中的一些而已。

完全符合SEMI標準和晶圓廠的要求,Genmark自動化公司的200毫米晶圓分揀機很容易根據SortMax200™客戶不斷變化的需求而進行配置。

Genmark自動化公司的功能強大和可定制的ECS300自動化軟件套件是一項標準功能,如分類,編號,傳送,壓縮,對齊和合並/拆分等。

規格

外殼  
基架 焊接鋼
塗層 烘焙粉末塗層
容量(堆放) 總共8個開放式晶圓盒站
晶圓尺寸 3"- 8" (76 to 200 毫米)
自動化  
大氣機器人 (類型) GB4S
末端執行器(類型) 真空抓取,雙末端執行器
預對準器(類型) 真空抓取夾頭
晶圓映射 光束
用戶界面 鍵盤,鼠標,21英寸顯示器
軟件界面

SECS / GEM通訊

COM / DCOM與其他軟件產品的接口
通訊 RS232 (SECS-I)
物理性質  
長度 47.24"
標準符合性  
SEMI

E30
E37
E39
E40
E87
E90
E94
E116
E118

其他標準

SECS / GEM通訊

COM / DCOM與其他軟件產品的接口
環境  
潔凈度 1級