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AVR -2000真空機器人系統提供超潔凈,高真空輸送環境下的高精確性和可靠性的輸送。
Genmark公司的最新機器人系列,G- REX™描述了標準有效載荷300mm和450毫米晶圓輸送工具應用的目前所有的技術規範,是目前市場上最精確的和最高生產量的大氣機器人解決方案。
GPR-GB7SY偏轉-軸(單和雙偏轉)機器人是Genmark采取了公司的先進技術,包括專利的GPR和偏轉技術,以實現自動化輸送物料,目前能夠運送最大450毫米晶圓有效載荷(最大的可靠性和精確度)。
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Genmark自動化公司的MiniMax™設備前端模塊(EFEM)是為了最大限度地提高要求最高自動化水平的半導體加工設備的生產效率的1級微環境系統。
Genmark公司的SortMax300™是根據25年的晶圓輸送設備的設計、開發和制造經驗而生產出的具有最高生產量的可快速軟件設置和最低所有權成本的新一代分揀機。
Genmark自動化公司的SortMax300 HT™致力於在嚴格的可靠性和潔凈度規範要求下提供晶圓的高效率海量傳送。
Genmark公司的SortMax200™晶圓分揀機(旨在輸送可達200mm的晶圓)具有卓越的性能。可以配置SortMax200™,以容納最大數量的開放式晶圓盒站。
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