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一种“并串联”机器人及其在材料输送自动化方面的应用

最近在半导体行业中进行材料输送的手动机器人可分为三大类：4个自由度（DOF）的机器人（在圆柱坐标工作），6个或以上自由度（DOF）的通用铰接臂; 6个或以上自由度的混合式并串联机械臂（结合了圆柱型机器人和一种特殊闭环机构的运动特性，出现于20世纪80年代初以来的工业）

如今，半导体晶圆厂的综合生产能力正在越来越多的依赖机器人系统（负责小环境内前端和后端的材料输送）的性能。不论生产工艺如何，交换已加工晶圆与未加工晶圆的时间一直是提高设备生产效率的瓶颈。