GPR ™真空升降机在真空传输设备中准确传送高兼容性晶圆。GPR ™真空升降机具有Genmark自动化公司的突破性GPR技术，提供1.5度倾斜的升降平台。GPR ™真空升降机能够沿垂直方向传送至16英寸[406毫米]行程，能够提升的负载达到50磅。采用铁磁流体磁耦合密封件，将升降机平移机构与大气环境隔开。
专利的GPR技术，使伺服控制机器人与未对齐的晶圆盒，FOUPS和过程模块相兼容并且智能地接口，并且在大型有效载荷输送过程中提供软件控制的末端执行器的偏转补偿。
| 配置 | |
| 晶圆载具类型 | 晶圆盒与晶圆舟 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径） | 14.125" |
| 本体高度 |
14.9"行程- 23.1" 16"行程 - 25" |
| 轴 | 3: Z, Z1, Z2 |
| 运动范围 | Z: 14.9", 16" |
| 性能 | |
| 有效载荷 | 50 lb |
| 基本工作压力 | 10E-10 Torr |
| 泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
| 重复性 | |
| 垂直( Z ) | 0.001" |
| 可靠性 (MTBF) | > 80,000 小时 |
| 环境 | |
| 洁净度 | < 1级洁净室兼容 |
| 晶圆接触材料 | 铝，SS，氟化橡胶，真空润滑脂 |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >14M MCBF |
