AVR-3000真空机器人系统提供了超洁净，高真空处理环境下的高精确性和可靠性的输送。 AVR-3000可以在10E-10 Torr情况下操作。
特别的运动学和运动传送设计保证了机器臂的快速运动，零间隙，保证了防止过度外部受力（施加于连杆的）的坚固性。
针对具有重叠流速剖面的多段轨迹而进行的高级运动协调，保证了顺利和有效的材料输送。
AVR-3000具有0.5英寸垂直行程，并提供各种末端执行器选择，使得机器人输送多种300毫米晶圆，光罩和FPD到达一个扩展的径向输送距离。
| 配置 | |
| 晶圆尺寸 |
可达450毫米的晶圆 盘片和其他附着物 |
| 机器臂配置 |
2 连杆 5.25"-5.25" 2 连杆 7.5"-7.5" 2 连杆 10.5"-10.5" 2 连杆 12.5"-12.5" |
| 末端执行器类型 | 重力 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径） | 9.83" |
| 本体高度 | 12.77" |
| 轴 | 3: T, R, Z |
| 运动范围 |
T: 500° R: - 5.25"-5.25": -7.5",10.5" - 7.5"-7.5": +/- 14.5" - 10.5"-10.5": +/- 20" - 12.5"-12.5": +/- 24" Z: 1" |
| 性能 | |
| 有效载荷 | 5lb |
| 基本工作压力 | 10E-10 Torr |
| 泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
| 重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| 径向 ( R ) | 0.001" |
| 旋转 ( T ) | 0.01° |
| 垂直 ( Z ) | 0.001" |
| 可靠性 (MTBF) | > 80,000 小时 |
| 环境 | |
| 洁净度 | < 1级洁净室兼容 |
| 晶圆接触材料 | 铝，SS，氟化橡胶，真空润滑脂 |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >12.7M MCBF |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
