AVR-2000真空机器人系统提供了超洁净,高真空处理环境下的高精确性和可靠性的输送。
特别的运动学和运动传送设计保证了机器臂的快速运动,零间隙,保证了防止过度外部受力(施加于连杆的)的坚固性。
针对具有重叠流速剖面的多段轨迹而进行的高级运动协调,保证了顺利和有效的材料输送。
AVR-2000具有0.5英寸垂直行程,并提供各种末端执行器选择,使得机器人输送多种300毫米晶圆,光罩和FPD到达一个扩展的径向输送距离。
配置 | |
晶圆尺寸 | 可达 300毫米 |
机器臂配置 | 2 连杆 8"-8" |
末端执行器类型 | 重力 |
物理性质 | |
尺寸(直径/长度) | 9.8" |
本体高度 | 10.89" |
轴 | 2: T, R |
运动范围 |
T: 190° R: -8.2", 15.5' Z: 0" |
性能 | |
有效载荷 | 5lb |
基本工作压力 | 10E-10 Torr |
泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/-0.001" |
径向 ( R ) | 0.001" |
旋转( T ) | 0.01° |
可靠性 (MTBF) | > 80,000小时 |
环境 | |
洁净度 | <1级洁净室兼容 |
晶圆接触材料 | 铝,SS,氟化橡胶,真空润滑脂 |
标准符合性 | |
使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A |
验证符合性的标准 |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
可靠性 | |
可靠性根据 SEMI E10 | >12.7M MCBF |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括::
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。