产品特点

AVR 2000 Vacuum Robot System (300mm)
 

特性:

  • 超高真空兼容(符合10E-10 Torr)
  • 小于1级洁净室兼容
  • 快速,无振动材料输送的基于DSP的运动控制

AVR 2000 Vacuum Robot System (300mm)

AVR-2000真空机器人系统提供了超洁净,高真空处理环境下的高精确性和可靠性的输送。

特别的运动学和运动传送设计保证了机器臂的快速运动,零间隙,保证了防止过度外部受力(施加于连杆的)的坚固性。

针对具有重叠流速剖面的多段轨迹而进行的高级运动协调,保证了顺利和有效的材料输送。

AVR-2000具有0.5英寸垂直行程,并提供各种末端执行器选择,使得机器人输送多种300毫米晶圆,光罩和FPD到达一个扩展的径向输送距离。

规格:

配置  
晶圆尺寸 可达 300毫米
机器臂配置 2 连杆 8"-8"
末端执行器类型 重力
物理性质  
尺寸(直径/长度) 9.8"
本体高度 10.89"
2: T, R
运动范围 T: 190°
R: -8.2", 15.5'
Z: 0"
性能  
有效载荷 5lb
基本工作压力 10E-10 Torr
泄漏率 <1*10E-9 std cc/sec
重复性 T: +/- 0.01°
R: +/-0.001"
径向 ( R ) 0.001"
旋转( T ) 0.01°
可靠性 (MTBF) > 80,000小时
环境  
洁净度 <1级洁净室兼容
晶圆接触材料 铝,SS,氟化橡胶,真空润滑脂
标准符合性  
使用指令/标准 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A
验证符合性的标准 EN 60204-1:1997
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999
可靠性  
可靠性根据 SEMI E10 >12.7M MCBF

黑盒选项:

黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括::

  • 设备的正常运行时间,停机时间,制造时间和总运行时间。数据符合SEMI E10-0701标准。
  • 每个电机的转数
  • 因机器人碰撞造成的超速/加速或过载的故障数  
  • 机器人的具体信息,如序列号,校准数据和额外的统计数据。

累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。

黑盒规格.

  • 观察到的机数量:8
  • 存储介质:64KB闪存
  • 数据保存时间:10年以上
  • 通讯接口:RS232,以太网(可选)。