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AVR -2000真空机器人系统提供超洁净,高真空输送环境下的高精确性和可靠性的输送。
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AVR -3000真空机器人系统提供超洁净,高真空输送环境下的高精确性和可靠性的输送。10E-10 Torr 情况下使用。
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AVR -3600真空机器人系统提供超洁净,高真空输送环境下的高精确性和可靠性的输送服务。
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AVR SMV3000是一种高性能的双臂真空机器人,为真空输送设备提供准确,可靠和可重复的晶圆输送服务(10E-10 Torr以下)。
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GPR - GB9真空机器人系统是Genmark公司的精密输送机器人GPR™产品线的最新成员,3" 和6"垂直行程可供使用。
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GPR- SMV真空机器人系统是一个高性能的双臂真空机器人,采用了Genmark公司的突破性专利GPR™技术。
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GPR™真空升降机在真空传输设备中准确传送高兼容性晶圆。
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在空间受限的真空环境下沿垂直方向准确传送高兼容性的晶圆。
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