Genmark自动化公司的Porta R6™是一种专门为自动化标线装载而设计的BOLTS兼容装载埠。它采用了透明外壳,最多可容纳150毫米标线的6个容器。外壳装有扫描传感器,显示了每 个容器及其里面标线存在的妥善安置。Porta R6™具有电磁门锁,伺服驱动标线盒开启工具,以及提供完全自动化和安全标线存取的隔离门。.
配置 | |
兼容性 | BOLTS 兼容 |
载具类型 | 6 150毫米标线载具 |
晶圆尺寸 | 150毫米标线 |
基板类型 | 标线 |
状态指示灯 | 2个灯 - “放置”和“行动确定” |
操作按钮 | 一个手动存取按钮 |
载具传感器 | 载具安置传感器 |
晶圆映射 | 标线存在传感器 |
物理性质 | |
夹紧机构 | 载具加载门的可锁定联锁 |
高度 |
- 带有小车1385毫米(54.54英寸) - 无小车1336毫米(52.61英寸) |
宽度 | 470毫米 (18.50 英寸) |
驱动 |
- 伺服电机驱动的载具打开机构 - 伺服电机驱动的开门机构 |
性能 | |
可靠性 |
MCBlp > 150K 周期 MCBl > 321.877 周期 MTTR 60 分钟 可用性 99.89% |
速度 |
装载4秒 卸载4秒 |
环境 | |
洁净度 | 在100级环境情况下的1级ANSI |
标准符合性 | |
SEMI |
- E15.1: 装载埠 - S2 合规性 - S8 工效指南符合性 - E44 微环境下的采购和验收指南 - E10 可用性 |
其他标准 |
- UBC Zone 4区和S2区的抗震稳定性 - 欧盟机械指令 - 欧盟低电压指令 - EU EMI/ESD - 符合I300I工厂指南的载具ID读取器 |
可靠性根据 SEMI E10 | |
MCBF (周期) | > 1M |