Genmark自动化公司的Porta FOSB™是专门为300毫米前开合存储盒（FOSB）而设计的多功能装载埠。该设备有一个倾斜的平台，以便进行安全人工输送和打开300毫米载具。 Porta FOSB™由伺服驱动的外壳所隔离，提供安全存取晶圆和进入洁净前端微环境。多功能的设计可以容纳150毫米或200毫米开放式晶圆盒。专用载具存在传感 器显示了加载载具的大小。由机载计算机和控制器控制，通过一些硬件和软件的安全联锁而保护设备和操作人员。按照所有适用的SEMI标准和I300I指南设 计，Porta FOSB设定了这一类设备在性能，可靠性，功能性方面的基准。
| 配置 | |
| 兼容性 | BOLTS 兼容 |
| 载具类型 |
- FOUP, 25晶圆 - 使用开放式晶圆盒适配器时，25毫米晶圆和150毫米和200毫米晶圆盒 |
| 晶圆尺寸 | 150毫米, 200毫米, 300毫米 |
| 基板类型 | 晶圆 |
| 状态指示灯 | 2个灯 - “放置”和“行动确定” |
| 载具传感器 | - FOUP安置 - 150毫米载具安置 - 200毫米载具安置 |
| 物理性质 | |
| 高度 | 1336毫米 (52.30 英寸 |
| 宽度 | 470毫米 (18.50 英寸) |
| 驱动 | - 气动（加载板的倾斜运动） - 伺服电机驱动顶盖和侧盖 |
| 性能 | |
| 可靠性 |
MCBlp > 150K 周期 MCBl > 321.877 周期 MTTR 60 分钟 可用性 99.89% |
| 速度 |
装载30秒 卸载30秒 |
| 环境 | |
| 洁净度 | 在100级环境情况下的1级ANSI |
| 标准符合性 | |
| SEMI | - E15.1：加载埠 - S2合规性 - S8工效学准则符合性 - E44微环境下的采购和验收指南 - E57机械。用于对齐和支持300毫米晶圆载具的运动联轴器规范 - E10 可用性 |
| 其他标准 |
- UBC Zone 4区和S2区的抗震稳定性 - 欧盟机械指令 - 欧盟低电压指令 - EU EMI/ESD - 符合I300I工厂指南的载具ID读取器 |
| 可靠性根据 SEMI E10 | |
| MCBF (周期) | > 1M |
