Porta300™ plus是一种输送300毫米晶圆载具的高级装载埠，符合所有适用的SEMI标准和I300I指南的独特设计，Porta300™ plus设 置了这一类设备的洁净，可靠性，性能和功能的新基准。最先进水平的晶圆映射提供了100％的准确率。所有主要运动均采用气动控制，以提供快速，精确的载具 装载。开启工具的操作由一套完整的安全联锁来控制，能够保护操作人员和设备。一套专用的光束传感器能够避免与机械臂或晶圆发生碰撞。E84连接器是一个标 准功能，包括视觉指标器 – 其提供符合最新版本的E87标准。集成在GB工具箱中的软件支持，提供了简单而全面的诊断功能和用户友好的操作界面。
| 配置 | Porta300 plus |
| 兼容性 | BOLTS 兼容 |
| 载具类型 |
- FOUP, 25晶圆 - FOSB, 25晶圆 - 使用开放式晶圆盒适配器时，25毫米晶圆和150毫米和200毫米晶圆盒 |
| 晶圆尺寸 | 150毫米, 200毫米, 300毫米 |
| 基板类型 | 晶圆 |
| 状态指示灯 | 8个灯，自定义配置 |
| 操作按钮 | 2个：装载和卸载（可以自定义配置） |
| 载具传感器 | 存在，安置 |
| 晶圆映射 | 光束 |
| 载具ID读/写 | IR, RF, 条形码 |
| 物理性质 | |
| 夹紧机构 |
- 气动驱动钥匙打开FOUR门 - 直流电动机驱动FOUR锁 |
| 高度 |
-带有小车 1410毫米（55.51英寸） - 无小车1340毫米（52.76英寸） |
| 宽度 | 476毫米 (18.74 英寸) |
| 驱动 | 所有主要的轴采用气动驱动和控制 |
| 性能 | |
| 可靠性 |
- MTBF > 150,000 HR - MCBF > 25 M 周期 - 可用性 99.9% |
| 速度 |
装载：<10秒，没有映射 装载：<10秒，有映射 卸载：<10秒 |
| 环境 | |
| 洁净度 | 在100级环境情况下的1级ANSI |
| 标准符合性 | |
| SEMI |
- E64:小车转运接口 - E15.1: 装载埠 - E62, - E63, - E84 - S8 工效指南符合性 - E44 微环境下的采购和验收指南 - E57 运动联轴器 |
| 其他标准 |
- UBC Zone 4区和S2区的抗震稳定性 - 欧盟机械指令 - 欧盟低电压指令 - EU EMI/ESD - 符合I300I工厂指南的载具ID读取器 |
| 可靠性根据 SEMI E10 | |
| MCBF (周期) |
- MTBF > 150,000 HR - MCBF > 25 M 周期 - 可用性 99.9% |
