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AVR -2000真空机器人系统提供超洁净,高真空输送环境下的高精确性和可靠性的输送。
Genmark公司的最新机器人系列,G- REX™描述了标准有效载荷300mm和450毫米晶圆输送工具应用的目前所有的技术规范,是目前市场上最精确的和最高生产量的大气机器人解决方案。
GPR-GB7SY偏转-轴(单和双偏转)机器人是Genmark采取了公司的先进技术,包括专利的GPR和偏转技术,以实现自动化输送物料,目前能够运送最大450毫米晶圆有效载荷(最大的可靠性和精确度)。
Genmark自动化公司的开放式晶圆盒适配器(OCA)是装载埠的一种,晶圆盒可以依生产需要打开。开放式晶圆盒适配器(OCA)能够实现1级隔离,对 最新工具进行优化,它能够使最终用户在没有设施升级的资金困难的情况下,仍然可以使用开放式晶圆盒技术,以利用新技术的优势。