产品特点

G-Rex4<span class='small-trade'>™</span> Dual Arm Robot System (300/450mm)
 

特性:

  • 更高加速度和生产量的低本体重量
  • 扩展的输送距离和垂直行程组合
  • 扩展的旋转运动范围
  • 无振动晶圆输送的基于DSP的运动控制器
  • 高级的运动规划和协调
  • 最优PID定时和增益调度
  • 模块化设计
  • 可选的快速扫描功能
  • ISO等级1

 

优势:

  • 卓越的运动性能
  • 低粒子产生和更高的生产量
  • 由于运动部件少,提高了可靠性
  • 最佳的生产量和可重复性
  • 工具的最大正常运行时间
  • 模块化设计,降低了服务周期时间
  • 易于维护和服务
  • 少于GB4S的预防性维修

G-Rex4 Dual Arm Robot System (300/450mm)

Genmark公司的最新机器人系列,G-Rex4™描述了标准有效载荷300毫米和450毫米晶圆输送工具应用的目前所有的技术规范,是目前市场上最精确的和最高生产量的大气机器人解决方案。

G-Rex4™机器人系统提供一种有成本效益的程序包,保证了占用空间小,最佳生产量,可靠性和适用性。它提供了创新的专利申请中的设计,高级控制 方法和EZTeach技术,确保高性能和可靠性。G-Rex4™提供了一种较少部件和运动部件的简化小批量设计,确保了更高的加速度和速度的改进动态。

G – Rex4™易于安装,示教,计划和故障排除。由于它的多功能性,G-Rex4™支持各种工具应用和灵活的定制配置,包括单和双臂,单和双叶片末端执行器,真空或边缘抓取支架。.

规格:

配置  
晶圆尺寸 可达 300毫米
机器臂配置 6.45"-6.45",
8.68"-8.68"
末端执行器类型 真空,边缘抓取
晶圆映射
物理性质  
尺寸(直径/长度) 9.8"/20.94"
4 - T, R, R2, Z
运动范围 T : 70度
R, R2:
 - 6.45" - 6.45": [-8.0", 12.3"]
 - 8.68" - 8.68": [-12.0", 16.5"]
Z: 2", 20"
性能  
有效载荷(动态/静态) 2 lbs
重复性 T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
环境  
洁净度 ISO等级1兼容
晶圆接触材料 Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al,氧化铝,不锈
标准符合性  
使用指令/标准 -机器指令89/392/EEC- 89/336/EEC (EMC)
- S2-93A
- S8-95
验证符合性的标准 - EN 55011
- EN 50082-1
- EN 60204-1
可靠性根据 SEMI E10 >15M MCBF

黑盒选项:

黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括::

  • 设备的正常运行时间,停机时间,制造时间和总运行时间。数据符合SEMI E10-0701标准。
  • 每个电机的转数
  • 因机器人碰撞造成的超速/加速或过载的故障数
  • 机器人的具体信息,如序列号,校准数据和额外的统计数据。

累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。

黑盒规格

  • 观察到的机数量:8
  • 存储介质:64KB闪存
  • 数据保存时间:10年以上
  • 通讯接口:RS232,以太网(可选)。