Genmark公司的最新机器人系列,G-Rex4™描述了标准有效载荷300毫米和450毫米晶圆输送工具应用的目前所有的技术规范,是目前市场上最精确的和最高生产量的大气机器人解决方案。
G-Rex4™机器人系统提供一种有成本效益的程序包,保证了占用空间小,最佳生产量,可靠性和适用性。它提供了创新的专利申请中的设计,高级控制 方法和EZTeach技术,确保高性能和可靠性。G-Rex4™提供了一种较少部件和运动部件的简化小批量设计,确保了更高的加速度和速度的改进动态。
G – Rex4™易于安装,示教,计划和故障排除。由于它的多功能性,G-Rex4™支持各种工具应用和灵活的定制配置,包括单和双臂,单和双叶片末端执行器,真空或边缘抓取支架。.
配置 | |
晶圆尺寸 | 可达 300毫米 |
机器臂配置 |
6.45"-6.45", 8.68"-8.68" |
末端执行器类型 | 真空,边缘抓取 |
晶圆映射 | 无 |
物理性质 | |
尺寸(直径/长度) | 9.8"/20.94" |
轴 | 4 - T, R, R2, Z |
运动范围 |
T : 70度 R, R2: - 6.45" - 6.45": [-8.0", 12.3"] - 8.68" - 8.68": [-12.0", 16.5"] Z: 2", 20" |
性能 | |
有效载荷(动态/静态) | 2 lbs |
重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
环境 | |
洁净度 | ISO等级1兼容 |
晶圆接触材料 | Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al,氧化铝,不锈 |
标准符合性 | |
使用指令/标准 |
-机器指令89/392/EEC- 89/336/EEC (EMC) - S2-93A - S8-95 |
验证符合性的标准 |
- EN 55011 - EN 50082-1 - EN 60204-1 |
可靠性根据 SEMI E10 | >15M MCBF |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括::
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。