GPR - GB8- SM是300毫米和450毫米晶圆自动化输送应用的一个精确而高性能双臂机器人。
两个连杆臂（R轴）的整个直线运动组合和两个交换臂（A1和A2轴）的旋转（Y轴），确保了最佳输送多达4个联机FOUP和尺寸相当的过程模块，而无需在线性轨道组件上安装机器人。
专利的GPR技术，使伺服控制机器人与未对齐的晶圆盒，FOUP和过程模块相兼容并且智能地互动，并且在大型有效载荷输送过程中提供软件控制的末端执行器的偏转补偿。
高级的机器人运动规划算法，保证了机器人的平稳运动和过程位置处的晶圆和晶圆载具的快速交换。
| 配置 | |
| 晶圆尺寸 | 可达 450毫米 |
| 机器臂配置 |
选项1:O 一个全长转换臂11.075"-11.075" 两个交换臂：6.45"-6.45" 选项2： 一个全长转换臂5.95"-11.9"-5.95" 两个交换臂：5.45"-5.45" |
| 末端执行器类型 |
机器臂配置1 真空或边缘抓取
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| 晶圆映射 | 光束 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径/长度） | 14" 本体直径 |
| 轴 | 8: T, R, Y, A1, A2, Z, Z1, Z2 |
| 运动范围 |
T: 500° 整个转换臂（R轴）： - 2个连杆 11.075"-11.075": [-21", 21"] - 3个连杆5.95'-11.9'-5.95": [-30.6", 30.6"] 交换臂（A1和A2轴）： - 2个连杆5.45"-5.45": [-10.35', 10.35"] - 2个连杆6.46"-6.46": [-8.01, 12.3"] Z: 12.5" Y: 680° |
| 性能 | |
| 有效载荷（动态/静态） | 1.5lbs根据交换臂 |
| 重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" A1/A2: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
| 环境 | |
| 洁净度 | ISO等级1兼容 |
| 晶圆接触材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al，氧化铝，不锈 |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >15M |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
