专门为超精密300/450毫米晶圆和大型平面输送而设计，GPR-GB8机器人系统采用Genmark公司的突破性GPR™专利技术的同时，增加了传输距离和负荷能力。
专利的GPR技术，使伺服控制机器人与未对齐的晶圆盒，FOUP和过程模块相兼容并且智能地互动，并且在大型有效载荷输送过程中提供软件控制的末端执行器的偏转补偿。
GPR-GB8机器人系统是一个非常强大，结构上增强的输送系统，能够输送大型有效载荷，包括450毫米晶圆输送的夹具末端执行器和大型平面输送应用的大型专业化末端执行器。
| 配置 | GB8 | GB8Y |
| 机器臂配置 |
2 连杆 8"-8" 3 连杆 4.425"-8.85"-4.425" 3 连杆 5.95"-11.9"-5.95" 3 连杆 8.05"-16.1"-8.05" |
2 连杆 9.25"-9.25" 3 连杆 4.425"-8.85"-4.425" 3 连杆 5.95"-11.9"-5.95" 3 连杆 8.05"-16.1"-8.05" 3 连杆 9.25"-18.5"-9.25" |
| 末端执行器类型 | 真空抓取，边缘抓取，重力 | 真空抓取，边缘抓取，重力 |
| 晶圆映射 | 反射; 光束 | 反射; 光束 |
| 物理性质 | ||
| 尺寸（直径/长度） | 14" | 14" |
| 轴 | 5: T, R, Z, Z1, Z2 | 6: T, R, Y, Z, Z1, Z2 |
| 运动范围 |
T: 500° R: - 8"-8": [-15.2", 15.2"] - 4.425"-8.85"-4.425": [-16.8", 16.8"] - 5.95"-11.9"-5.95": [-22.6", 22.6"] - 8.05"-16.1"-8.05": [-30.7", 30.7"] Z: 12.5", 17", 20", 25" 倾斜： 1.5° |
T: 500° R: - 9"-9": [-17.6", 17.6"] - 4.425"-8.85"-4.425": [-16.8", 16.8"] - 5.95"-11.9"-5.95": [-22.6", 22.6"] - 8.05"-16.1"-8.05": [-30.7", 30.7"] - 9.25"-18.5"-9.25": [-35.15", 35.15"] Z: 12.5", 17", 20", 25" Y: 344° 倾斜： 1.5° |
| 性能 | ||
| 有效载荷（动态/静态） | 5 lb | 5lb |
| 重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
| 环境 | ||
| 洁净度 | ISO等级1兼容 | ISO等级1兼容 |
| 晶圆接触材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al，氧化铝，不锈 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al，氧化铝，不锈 |
| 标准符合性 | ||
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | ||
| 可靠性根据 SEMI E10 | >15M | >15M |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
