GPR- GB7- W机器人系统采用密封机构的设计，以防止因暴露于潮湿环境（与CMP自动化有关和要求材料在潮湿的条件下输送的其他过程应用有关）而造成的内部损坏。
专利的GPR技术，使伺服控制机器人与未对齐的晶圆盒，FOUP和过程模块相兼容并且智能地互动，并且在大型有效载荷输送过程中提供软件控制的末端执行器的偏转补偿。
| 配置 | |
| 晶圆尺寸 | 可达 450毫米 |
| 机器臂配置 |
3连杆 6"-12"-6" 2 连杆5.25"-5.25" |
| 末端执行器类型 | 真空，边缘抓取，重力 |
| 晶圆映射 | 反射; 光束 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径/长度） | 9.8" (本体直径) |
| 垂直行程 – 本体高度 |
8" 行程- 18" 12.5"l行程 - 21" 17" 行程- 24.5" 20" 行程 - 27" |
| 轴 | 5: T, R, Y, Z, Z1, Z2 |
| 运动范围 |
T: 500° R: - 6"-12"-6": [-22.8", 22.8] - 5.25"-5.25": [-9.975", 9.975"] Z: 8", 12.5", 17", 20" 倾斜： 1.5° |
| 性能 | |
| 有效载荷（动态/静态） | 2.5lbs |
| 重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| 环境 | |
| 洁净度 | ISO等级1兼容 |
| 晶圆接触材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al，氧化铝，不锈 |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >15M |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
