GB7S机器人系统采用Genmark公司的突破性进展和GPR™ 专利技术，以实现目前能够提供的自动化晶圆输送工具的最高级别性能，能够输送450毫米直径的晶圆。专利的GPR技术，能够使伺服控制机器人与未对齐的晶 圆盒、FOUPS和过程模块相兼容并且智能地接口，以及在大型有效载荷输送过程中提供软件控制的末端执行器的偏转补偿。GPR-GB7S机器人系统的独特 专利的偏转技术特点，使它能够从一个固定的中央位置存取联机过程模块，FOUPS和晶圆盒，并且消除了机器人周围的该过程和其他各站的径向安置需要。 GB7机器人系统可以有不同的手臂配置，以适应多种SMIF/晶圆盒的前端布局。
| 配置 | |
| 晶圆尺寸 | 可达 450毫米 |
| 机器臂配置 |
3连杆6"-12"6" |
| 末端执行器类型 | 真空，边缘抓取，重力 |
| 晶圆映射 | 反射; 光束 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径/长度） | 9.96" (本体直径) |
| 轴 | 5: T, R, Z, Z1, Z2 |
| 运动范围 |
T: 500° R: - 6"-12"-6": [-22.8", 22.8"] - 4"-8"-4"; [-17.1", 17.1"] - 8"-8": [-22.8", 22.8"] Z: 17"; 20" 倾斜： 1.5° |
| 性能 | |
| 有效载荷（动态/静态） | 2.5lbs |
| 重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
| 环境 | |
| 洁净度 | ISO等级1兼容 |
| 晶圆接触材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极处理AI，氧化铝，不锈钢 |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >15M |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
