Genmark自动化公司的“湿”过程晶圆输送机器人---GB4S-W机器人系统具有高精度，性能和可靠性的特征。GB4S-W保证了最小占用空 间的湿过程设备的最佳性能和最大工作时间。GB4S-W描述了所有主要问题，如与湿过程应用相关的水分/湿度运行条件（包括CMP和其他应用）所引起的机 器人机构的过早损坏。
GB4S-W机器人具有特殊的承载能力，无与伦比的可靠性和低经营成本，能够实现“湿”环境下晶圆输送应用的最高级别性能。GB4S - W机器人系统可以在单和双晶圆配置，以及不同输送距离和垂直行程组合的情况下使用。
| 配置 | |
| 晶圆尺寸 | 可达 300毫米 |
| 机器臂配置 | 7.25" -7.25" |
| 末端执行器类型 | 可选翻转的真空或边缘抓取 |
| 晶圆映射 | 可选的, 反射 or 光束 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径/长度） | 9.76" 本体直径 |
| 轴 | T，R，Z，E（可选的末端执行器翻转轴） |
| 运动范围 |
T: 500 度 R: +/- 14.5" Z: 8" E: 180 度 |
| 性能 | |
| 有效载荷（动态/静态） | 2lbs |
| 重复性 |
T: +/- 0.01 度 R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" E: +/- 0.01" 度 |
| 环境 | |
| 洁净度 | ISO等级1兼容 |
| 晶圆接触材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al，氧化铝，不锈 |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 |
机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
| 恢复 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >4.8M |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
