GB4S机器人系统是一个高精度的300毫米晶圆输送机器人,为标准有效载荷和生产能力的需求提供卓越性能。
大小与Genmark自动化公司的原GB4机器人相同,GB4S具有许多设计改进,机器人的性能和可靠性得到了改进。GB4S机器人是专门为单或双晶圆输送而设计的,能够适用于不同输送距离和垂直行程组合。
与RPA-0分离式预对准器一道使用的GB4S机器人系统提供了晶圆和标线的高度精确和高度可重复的预对准和输送系统。它包括通过专门设计的末端执 行器传送叶片和对准夹头,起销,以及专用的运动控制软件而输送“薄晶圆”,以保证在克服增加的晶圆下垂和易碎性的同时,实现可靠的材料输送。也可以选择一 个翻转型末端执行器。
配置 | |
晶圆尺寸 | 可达 300毫米 |
机器臂配置 | 5.25"-5.25"; 7.25" -7.25"; 4"-8"-4" |
末端执行器类型 | 真空,边缘抓取,重力 |
晶圆映射 | 反射; 光束 |
物理性质 | |
尺寸(直径/长度) | 9.76"(本体直径)和30.25" |
垂直行程 – 本体高度 |
7" - 13.6" 12" - 18.6" 17" - 23.6" 20" - 26.6" |
轴 | 3 - T, R, Z |
运动范围 |
T: 500° R: - 5.25"-5.25": [-10.5", 10.5"] - 7.25"-7.25"; [-14.5", 14.5"] - 4"-8"-4": [-16", 16"] Z: 7"; 12"; 17"; 20" |
性能 | |
有效载荷(动态/静态) | 2lbs |
重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
环境 | |
洁净度 | ISO等级1兼容 |
晶圆接触材料 | Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸渍阳极化处理AI,氧化铝,不锈钢 |
标准符合性 | |
适用指令/标准 |
机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
验证符合性的标准 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
恢复 | |
可靠性根据SEMI E10 | >15M MCBF |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括:
累计的信息提供了预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。