装有集成的晶圆预对准器的GB4P机器人系统,是目前市场上能够提供,用于可达200毫米晶圆输送应用、标准有效载荷和生产量的最紧凑型机器人和预对准器包装。
大小与Genmark自动化公司的原GB4机器人相同,GB4P装有晶圆直径从2英寸到8英寸所用的一个内置预对准器。预对准器的调节功能考虑到不同晶圆尺寸的简单而快速的配置。GB4P机器人是专门为单或双晶圆输送而设计的,适用于多种输送距离和垂直行程的组合。
Genmark 自动化公司的GB4P机器人系统是一个高度精确,可重复和可靠的晶圆(尺寸可达200毫米)输送和对齐解决方案。
配置 | |
机器臂配置 | 5.25"-5.25"; 7.25" -7.25"; 4"-8"-4" |
末端执行器类型 | 真空,边缘抓取,重力 |
晶圆映射 | 反射; 光束 |
物理性质 | |
尺寸(直径/长度) | 9.76" (本体直径) |
垂直行程---本体高度 |
7" - 13.5" 8.5" - 14.3" 12" - 17.85" 17" - 23.5" 20" - 26.5" |
轴 |
5: 机器人 - T,R,Z轴 预对准器- V(垂直),P(夹头旋转) |
运动范围 |
T: 500° R: - 5.25"-5.25": [-10.5", 10.5"] - 7.25"-7.25"; [-14.5", 14.5"] - 4"-8"-4": [-16", 16"] Z: 7"; 8.5"; 12"; 17"; 20" |
性能 | |
有效载荷(动态/静态) | 2lbs |
重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
环境 | |
洁净度 | ISO等级1兼容 |
晶圆接触材料 | Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸渍阳极处理AI,氧化铝,不锈钢 |
标准符合性 | |
使用指令/标准 |
机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
验证符合性的标准 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
恢复 | |
可靠性根据 SEMI E10 | >15M MCBF |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。