产品特点

GB4P Robot System
 

特性

  • 集成式预对准模块
  • 用于晶圆直径2英寸到8英寸的可调灯塔
  • 快速,准确,可重复输送晶圆和标线
  • 扩展的输送距离和垂直行程选项
  • 无振动晶圆输送的基于DSP的运动控制器
  • 多段连续轨迹控制
  • 快,慢扫描模式下的可选的扫描功能
  • 快,慢扫描模式下的可选的扫描功能

GB4P Robot System

装有集成的晶圆预对准器的GB4P机器人系统,是目前市场上能够提供,用于可达200毫米晶圆输送应用、标准有效载荷和生产量的最紧凑型机器人和预对准器包装。

大小与Genmark自动化公司的原GB4机器人相同,GB4P装有晶圆直径从2英寸到8英寸所用的一个内置预对准器。预对准器的调节功能考虑到不同晶圆尺寸的简单而快速的配置。GB4P机器人是专门为单或双晶圆输送而设计的,适用于多种输送距离和垂直行程的组合。

Genmark 自动化公司的GB4P机器人系统是一个高度精确,可重复和可靠的晶圆(尺寸可达200毫米)输送和对齐解决方案。

规格

配置  
机器臂配置 5.25"-5.25"; 7.25" -7.25"; 4"-8"-4"
末端执行器类型 真空,边缘抓取,重力
晶圆映射 反射; 光束
物理性质  
尺寸(直径/长度) 9.76" (本体直径)
垂直行程---本体高度 7" - 13.5"
8.5" - 14.3"
12" - 17.85"
17" - 23.5"
20" - 26.5"
5:
机器人 - T,R,Z轴
预对准器- V(垂直),P(夹头旋转)
运动范围 T: 500°
R:
- 5.25"-5.25": [-10.5", 10.5"]
- 7.25"-7.25"; [-14.5", 14.5"]
- 4"-8"-4": [-16", 16"]
Z: 7"; 8.5"; 12"; 17"; 20"
性能  
有效载荷(动态/静态) 2lbs
重复性 T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
环境  
洁净度 ISO等级1兼容
晶圆接触材料 Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸渍阳极处理AI,氧化铝,不锈钢
标准符合性  
使用指令/标准 机器指令89/392/EEC
低电压指令73/23/EEC
89/336/EEC(EMC)
SEMI S2-93A
验证符合性的标准 EN 60204-1
EN 292-1
EN 292-2
恢复  
可靠性根据 SEMI E10 >15M MCBF

黑盒选项:

黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括:

  • 设备的正常运行时间,停机时间,制造时间和总运行时间。数据符合SEMI E10-0701标准。
  • 每个电机的转数
  • 因机器人碰撞造成的超速/加速或过载的故障数
  • 机器人的具体信息,如序列号,校准数据和额外的统计数据。

累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。

黑盒规格

  • 观察到的机数量:8
  • 存储介质:64KB闪存
  • 数据保存时间:10年以上
  • 通讯接口:RS232,以太网(可选)。