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Genmark公司的最新机器人系列,G- REX™描述了标准有效载荷300mm和450毫米晶圆输送工具应用的目前所有的技术规范,是目前市场上最精确的和最高生产量的大气机器人解决方案。
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Genmark公司的最新机器人系列,G- REX™描述了标准有效载荷300mm和450毫米晶圆输送工具应用的目前所有的技术规范,是目前市场上最精确的和最高生产量的大气机器人解决方案。
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GB7S机器人系统采用Genmark公司的突破性进展和GPR™ 专利技术,以实现目前能够提供的自动化晶圆输送工具的最高级别性能,能够输送450mm直径的晶圆。
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GPR-GB7SY偏转-轴(单和双偏转)机器人是Genmark采取了公司的先进技术,包括专利的GPR和偏转技术,以实现自动化输送物料,目前能够运送最大450毫米晶圆有效载荷(最大的可靠性和精确度)。
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GPR- GB7- W机器人系统采用密封机构的设计,以防止因暴露于潮湿环境(与CMP自动化有关和要求材料在潮湿的条件下输送的其他过程应用有关)而造成的内部损坏。
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EVTMHS是一种具有扩展垂直行程的晶圆输送系统,旨在使用半导体制造工具输送300mm和450mm晶圆,应用于大升限的方案中。
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装有集成的晶圆预对准器的GB4P机器人系统,是目前市场上能够提供,用于可200mm晶圆输送应用、标准有效载荷和生产量的最紧凑型机器人和预对准器包装。
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Genmark公司的“湿”过程晶圆输送机器人,GB4S- W机器人系统具有高精度,高性能和高可靠性的特征。
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专为超精密300/450mm晶圆和大型平面运输而设计,GPR-GB8机器人系统采用Genmark公司的突破性GPR™专利技术的同时,增加了传输距离和负荷能力。
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GPR - GB8- SM是300mm和450mm晶圆自动化输送应用的一个精确而高性能双臂机器人。
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