分离式真空预对准器（IVP）是供所有Genmark真空机器人使用的工程设计，能够提供真空环境下基板放置的偏心率和方向的准确的非接触式测量。 在机器人的工作范围内，该装置可以任意放置。预对准器的操作包括晶圆位移的测量，必要补偿的计算和槽口（或平面）与所需角度的定向。
分离式真空预对准器用于广泛的应用范围，无论要对齐的基板的尺寸，形状，透明度和厚度如何。预对准器可以测量直径50到300毫米的晶圆和75到200毫米的方形基板。
| 基板 | |
| 类型 | 晶圆, 方基板 |
| 尺寸 |
晶圆: 可达 300毫米, 方形基板：可达200毫米 |
| 平坦或槽口方向 | 平坦，槽口 |
| 平坦，槽口 | |
| 中心偏移量 | 0.002" |
| 角偏移量 | 0.1 度 |
| 初始偏移容差 | 0.5" |
| 最大真空压力 | 10-8 torr |
| 伺服灯塔间距 | 0.350” |
| 物理性质 | |
| 长度 | 10.685” |
| 宽度 | 6.000” |
| 高度 | 8.050” |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
