独立式预对准器是一个独立的设备，能够提供基板位置的偏心率和方向的准确和非接触式测量。在大范围的初始基板–位移而需要高对准精度时，它可以与众多基板操纵装置实现集成。
基板可以放置在夹头或预对准器的可选固定引脚上，这取决于机器人的末端执行器的形状。夹头配备两个伺服轴，X和Y，使之移动到基板下方（当时固定在 引脚上）并且补偿任何偏差。独立式预对准器的操作包括晶圆位移测量，必要补偿的计算和槽口（或平面）与所需角度的定向。夹头运动的高分辨率和准确性保证了 多种基板位移的非常精确的对准。
独立式预对准器设计用于广泛的应用范围，无论要对齐的基板的尺寸，形状，透明度和厚度如何。定制设计的灯塔保证了固体和透明对象的准确和可靠的测 量。内置的光学系统认可大约6毫米的基板厚度。预对准器可以测量直径50到300毫米的晶圆和75到200毫米的方形基板。一个可选的移动式灯塔能够针对 不同基板尺寸而进行软件控制调整。
| 适用于 | 晶圆, 标线 |
| 晶圆尺寸 | 3", 100毫米, 125毫米, 150毫米, 200毫米, 300毫米 |
| 平坦或槽口方向 | 平坦，槽口 |
| 对准精度 | |
| 中心偏移量 | 0.0005" |
| 角偏移量 | 0.05" |
| 对准时间 |
300毫米晶圆：4秒 200毫米晶圆和以下：3.5秒 |
| 初始偏移容差 | 0.5" |
| 伺服灯塔间距 | 0.35", 0.5" |
| 物理性质 | |
| 垂直行程-本体高度 | 无垂直行程 |
| 长度 | 12" |
| 宽度 | 10" |
| 高度 | 11" |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 / MCBF | >10M |
