分离式预对准器（RPA）是一个附加的智能机器人，提供基板放置的偏心率和方向的准确的非接触式测量。它的设计能够与Gencobot系列第4，7，8，GPR-SM（需要由材料输送应用程序进行基板对齐时）实现无缝集成。
在机器人的工作范围内，该装置可任意放置。它可以配置几种垂直行程范围或没有任何的垂直运动。基板可以放置在夹头或预对准器的可选固定引脚上，这取决于机器人的末端执行器的形状。
预对准器的操作，包括晶圆位移的测量，必要补偿的计算和槽口（或平面）与所需角度的定向。完成定向之后，机器人通过必要的偏移补偿而拾取晶圆。为了最大限度地提高系统的吞吐量，控制器可以同时操作预对准器和机器人 - 测量晶圆的时候，机器人可以执行其他任务。
RPA设计用于广泛的应用范围，无论要对齐的基板的尺寸，形状，透明度和厚度如何。定制设计的灯塔保证了固体和透明对象的准确和可靠的测量。内置的光学系 统认可大约6毫米的基板厚度。预对准器可以测量直径50到300毫米的晶圆和75到200毫米的方形基板。一个可选的移动式灯塔能够针对不同基板尺寸而进 行软件控制调整。
| 适用于 | 晶圆, 标线 |
| 晶圆尺寸 | 2", 3", 3100毫米, 125毫米, 150毫米, 200毫米, 300毫米 |
| 平坦或槽口方向 | 平坦或槽口 |
| 对准精度 | |
| 中心偏移量 | 0.002" |
| 角偏移量 | 0.1 度 |
| 对准时间 | 5 秒 |
| 初始偏移容差 | 0.5" |
| 伺服灯塔间距 | 0.35", 0.5" |
| 最大垂直速度 | 20"/s |
| 最大垂直加速度 | 40"/s2 |
| 物理性质 | |
| 垂直行程-本体高度 |
8.5" - 14" 13"- 18.5 16" – 25.35 |
| 长度 | 12.3" |
| 宽度 | 3.4" |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 / MCBF | >20M |
