Genmark自动化公司提供一种技术，以调整校准一个典型半导体制造工具所需的时间（从小时到分钟）。这种自动化的示教技术或简称 Autoteach，并不需要庞大额外的资本投资（采用复杂的工具修改和昂贵的第三方设备的形式）。Autoteach消除了手工示教的主观性，确保了生 产材料的安全和快速操作。
半导体工具进行维修或日程维护时，操作工具的晶圆厂因为增加的维修成本以及损失的收入而正在丧失大量资金。实际上保留了大量的停机时间，以校准自动 化材料输送工具（机器人），这是半导体工具的公用部分。此外，如果没有正确执行校准，机器人可能损坏输送的材料，毁坏了价值数十万美元的产品。
如何运作:
通过它的硬件和软件资源，Autoteach计算出坐标中拾取位置的晶圆中心的绝对XYZ坐标，这是机器人控制系统可以理解的。为了获得拾取位置的 坐标，Autoteach采用了给定的末端执行器的几何形状，四个光束传感器（图1） - 两个水平和两个垂直。水平传感器确定了与拾取位置的晶圆平面存在已知关系的一个平面，而垂直传感器确定了与晶圆平面垂直的直线（通过晶圆中心拉出的）以及 渐近角，以取回或输送晶圆到该位置。
通过执行预定义序列的运动，机器人使用末端执行器而越过光束，将光束坐标锁定在机器人坐标系。基于这些锁定坐标和光束的已知绝对（XYZ）坐标，Genmark控制软件推算出晶圆中心在机器人坐标空间中的坐标。
校准拾取位置的整个过程是由一个单一的机器人命令而启动的，发送到机器人控制器，它不需要任何计算或工具的主机软件所产生的额外干预。这意味着，所有的操作人员所要做的就是按下工具的GUI触摸屏上的按钮，或在Genmark机器人控制实用程序的命令行输入命令。
一般来说， Autoteach工具将为5年生产的机器人进行校准而累计约250小时的停机时间，这将花费掉至少人工费用50000美元，失去了数以百万计的潜在收 入. 随着ROL的瞬间完成，工具准备开始生产，事实证明：Autoteach大大降低了工具的停机时间，提高了其盈利能力，这也难怪Autoteach是许多 Genmark自动化公司客户的首选。
