|
Genmark自动化公司提供一种技术,以调整校准一个典型半导体制造工具所需的时间(从小时到分钟)。
查看更多
|
|
|
边缘抓取式预对准器是自动设备,能够在与Genmark公司的边缘抓取式末端执行器相结合时,提供准确、高效的晶圆对准和优异的性能。
查看更多
|
|
|
分离式预对准器(RPA)是一个附加的智能机器人,提供基板放置的偏心率和方向的准确的非接触式测量。
查看更多
|
|
|
独立式预对准器是一个独立的设备,能够提供基板放置的偏心率和方向的准确的非接触式测量。
查看更多
|
|
|
RIVP是供所有Genmark真空机器人使用的工程设计,能够提供真空环境下基板放置的偏心率和方向的准确的非接触式测量。
查看更多
|
|
|
这种分离式计量装置,包括3个CCD(电荷耦合器件),旨在与平板输送机器人一道工作,以确定平板的位置和方向。
查看更多
|
|