Genmark自动化公司的SortMax300 HT™致力于在严格的可靠性和洁净度规范要求下提供晶圆的高效率海量传送。基于模块化设计，它可以支持多达8个FOUP/ FOSB站的配置。最高的生产能力是技术特点扩展的结果，包括基于Genmark自动化公司的成熟GREX双臂机器人系列的设计独特的双末端执行器晶圆输 送机构。
基于最新的ECS300设备控制软件套件，SortMax300HC™还确保了大大提高的功能性和可靠性。与快速的软件设置一道，高度复杂的软件套 件已经得到改进，包括内置支持最新的晶圆厂要求。专用的“自教”脚本程序能够进一步简化晶圆输送的示教过程，优化操作界面，并减少维护期间的停机。
Genmark自动化公司的高容量晶圆分拣机SortMax300 HT™旨在输送300毫米晶圆并提供标准或定制配置。多种末端执行器，晶圆映射器和单或双晶圆对准器只是它的许多选项中的一些而已。
| 外壳 | |
| 基架 | 焊接管，BOLTS兼容装载埠 |
| 涂层 | 烘焙粉末涂层 |
| 容量（堆放） | 多达8个装载埠 |
| 扇形过滤器 | |
| 扇形过滤器装置 | 根据客户规格 |
| 过滤介质 | 聚四氟乙烯ULPA的99.99995％@0.1微米的效率 |
| 晶圆尺寸 | 可达 300 毫米 |
| 自动化 | |
| 大气机器人 (类型) | Grex4 |
| 末端执行器（类型） | 真空抓取，边缘抓取，重力 |
| 预对准器类型 | 真空抓取夹头，边缘抓取夹头 |
| 晶圆映射 | 光束 |
| 用户界面 | 键盘，鼠标，触摸屏 |
| 软件界面 | SEMI E30, E84, E87, E90, E40, E94, E99, E118, E116 |
| 通讯 | RS232 (SECS-I), 以太网 (HSMS) |
| 物理性质 | |
| 长度 |
两个装载埠 - 45'' 三个装载埠 - 66'' 四个装载埠 - 80'' |
| 空气压力：与洁净度的环境有关 | |
| 埠关闭 | 规格:0.01 +/- 0.005 英寸w.c., (2.5 +/- 0.13Pa) |
| 装载/卸载 | 规格:0.01 +/- 0.005 英寸w.c., (2.5 +/- 0.13Pa) |
| ME恢复时间 | < 38秒 |
| 空气流速 | 90+/ - 10％英尺/分钟（0.45+/ - 10％米/秒） |
| 标准符合性 | |
| SEMI |
- SEMI S1-0701 - SEMI S2-1102 - SEMI S7-96 - SEMI S8-0701 - SEMI S9-1101 - SEMI S10-1296 - SEMI S13-0298 - SEMI E15-0698 - SEMI S11-1296 - SEMI E54-0997 - SEMI E58-0301 - SEMI F47-0400 |
| 其他标准 | CE标准，国际半导体制造联盟的集成微环境最佳设计实践 |
| 环境 | |
| 洁净度 | 等级1000或以上 |
