Genmark自动化公司的SortMax200™晶圆分拣机(旨在输送可达200毫米晶圆),具有卓越的性能。可以配置SortMax200™,以容纳最大数量8个的开放式晶圆盒站。
凭着多年的生成桥接工具(整合了不同的过程,如晶圆厚度测量,紫外线清洁/清除和ID应用,这只是其中几项)的经验,Genmark自动化公司提供 当今市场上最可靠和服务的200毫米小占用空间的分拣机。多种晶圆映射器,预对准器和末端执行器只是它的许多选项中的一些而已。
完全符合SEMI标准和晶圆厂的要求,Genmark自动化公司的200毫米晶圆分拣机很容易根据SortMax200™客户不断变化的需求而进行配置。
Genmark自动化公司的功能强大和可定制的ECS300自动化软件套件是一项标准功能,如分类,编号,传送,压缩,对齐和合并/拆分等。
外壳 | |
基架 | 焊接钢 |
涂层 | 烘焙粉末涂层 |
容量(堆放) | 总共8个开放式晶圆盒站 |
晶圆尺寸 | 3"- 8" (76 to 200 毫米) |
自动化 | |
大气机器人 (类型) | GB4S |
末端执行器(类型) | 真空抓取,双末端执行器 |
预对准器(类型) | 真空抓取夹头 |
晶圆映射 | 光束 |
用户界面 | 键盘,鼠标,21英寸显示器 |
软件界面 |
SECS / GEM通讯 COM / DCOM与其他软件产品的接口 |
通讯 | RS232 (SECS-I) |
物理性质 | |
长度 | 47.24" |
标准符合性 | |
SEMI |
E30 |
其他标准 |
SECS / GEM通讯 COM / DCOM与其他软件产品的接口 |
环境 | |
洁净度 | 1级 |