产品特点

SortMax200<span class='small-trade'>™</span>
 

分拣机的功能包括:

  • 输送
  • 分开/合并
  • 压缩
  • 随机化
  • 晶圆 ID映射
  • 分类
  • 对齐

SortMax200

Genmark自动化公司的SortMax200™晶圆分拣机(旨在输送可达200毫米晶圆),具有卓越的性能。可以配置SortMax200™,以容纳最大数量8个的开放式晶圆盒站。

凭着多年的生成桥接工具(整合了不同的过程,如晶圆厚度测量,紫外线清洁/清除和ID应用,这只是其中几项)的经验,Genmark自动化公司提供 当今市场上最可靠和服务的200毫米小占用空间的分拣机。多种晶圆映射器,预对准器和末端执行器只是它的许多选项中的一些而已。

完全符合SEMI标准和晶圆厂的要求,Genmark自动化公司的200毫米晶圆分拣机很容易根据SortMax200™客户不断变化的需求而进行配置。

Genmark自动化公司的功能强大和可定制的ECS300自动化软件套件是一项标准功能,如分类,编号,传送,压缩,对齐和合并/拆分等。

规格

外壳  
基架 焊接钢
涂层 烘焙粉末涂层
容量(堆放) 总共8个开放式晶圆盒站
晶圆尺寸 3"- 8" (76 to 200 毫米)
自动化  
大气机器人 (类型) GB4S
末端执行器(类型) 真空抓取,双末端执行器
预对准器(类型) 真空抓取夹头
晶圆映射 光束
用户界面 键盘,鼠标,21英寸显示器
软件界面

SECS / GEM通讯

COM / DCOM与其他软件产品的接口
通讯 RS232 (SECS-I)
物理性质  
长度 47.24"
标准符合性  
SEMI

E30
E37
E39
E40
E87
E90
E94
E116
E118

其他标准

SECS / GEM通讯

COM / DCOM与其他软件产品的接口
环境  
洁净度 1级