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AVR -2000真空机器人系统提供超洁净,高真空输送环境下的高精确性和可靠性的输送。
Genmark公司的最新机器人系列,G- REX™描述了标准有效载荷300mm和450毫米晶圆输送工具应用的目前所有的技术规范,是目前市场上最精确的和最高生产量的大气机器人解决方案。
GPR-GB7SY偏转-轴(单和双偏转)机器人是Genmark采取了公司的先进技术,包括专利的GPR和偏转技术,以实现自动化输送物料,目前能够运送最大450毫米晶圆有效载荷(最大的可靠性和精确度)。
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Genmark自动化公司的MiniMax™设备前端模块(EFEM)是为了最大限度地提高要求最高自动化水平的半导体加工设备的生产效率的1级微环境系统。
Genmark公司的SortMax300™是根据25年的晶圆输送设备的设计、开发和制造经验而生产出的具有最高生产量的可快速软件设置和最低所有权成本的新一代分拣机。
使用Genmark公司的最新晶圆分拣机产品-----SortMax300 HC ™高容量分拣机,提高生产力,实现模块化设备配置(支持多达14 FOUP/ FOSB站)的最高生产力。
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