최근에 반도체 산업에서 Material처리를 수행하는 로봇은 주로 3가지 범주로 분류됩니다: Cylindrical 좌표에 따라 움직이는 4등급 자유도 로봇(DOF), 6개 이상의 DOF가 있는 일반적인 관절식 팔, 1980년대 초기부터 산업에서 사용할 수 있게 된 특수한 종류의 closed-loop 메커니즘과 cylindrical 로봇의 동작 특성을 결합한, 6개 또는 그 이상의 DOF가 있는 hybrid parallel-series manipulator가 있습니다
"Parallel-Serial" Manipulators 및Material처리 자동화에 적용
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현재, 반도체 FAB의 전반적인 생산성은 프런트 엔드 및 백 엔드 미니환경에서 Material 처리를 담당하는 로봇 시스템의 성능에 더욱더 의존하고 있습니다. 특수 공정이 얼마나 오래 걸리느냐와 관계 없이, 이미 공정된 웨이퍼와 비공정 웨이퍼의 교환 시간은 공정 기계의 성능을 향상시키는데 장애물이 되고 있습니다.
반도체 자동화용 고성능 웨이퍼 처리 시스템
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