GPR-SMV 진공 로봇 시스템은 Genmark의 획기적인 GPR 특허 기술을 채택한 고성능 dual-arm 진공 로봇입니다.
GPR-SMV 진공 로봇 시스템은 정확하고 반복 가능한 인덱싱과 10E-10 Torr 진공 내에서 반도체 웨이퍼 수송을 위해 two-link 로봇공학 arm의 기능과 공정 chamber, 카세트에서 웨이퍼 교환을 수행하는 dual arms의 동작을 결합했습니다.
로봇의 기계공학은 단순성, 모듈형 설계, 쉬운 제어, teaching, 프로그래밍에 도움이 됩니다. 연속적으로 매끄러운 궤도에서 향상된 동작 플레닝은 다양한 백-엔드 레이아웃에서 우수한 성능과 효율적인 구현을 보증합니다.
GPR 특허 기술을 통해 서보 제어 로봇이 misaligned cassette, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다.
Configuration | |
Wafer Sizes | Wafers up to 450mm |
Arm Configuration(s) | 2 Link 6.5"-6.5" |
End Effectors Types | Gravity |
Physical Properties | |
Size (Diameter) | 14" |
Body Height | 24.1" |
Axes | 6: T, R, R2, Z, Z1, Z2 |
Range of Motion |
T: 360° R and R2: - 6.5"-6.5": [- 12.8", 12.8"] Z: 3" Tilt: 1.0° |
Performance | |
Payload | 12 lb |
Base Operating Pressure | 10E-10 Torr |
Leak rate | <1*10E-9 std cc/sec |
Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" R2: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
Radial ( R ) | 0.001" |
Rotational ( T ) | 0.01° |
Vertical ( Z ) | 0.001" |
Reliability (MTBF) | >000 hours |
Environment | |
Cleanliness | < Class 1 Clean Room Compatible |
Wafer contact Materials | Aluminum, SS, Viton, Vacuum Grease |
Standards Compliance | |
Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
Reliability | |
Reliability per SEMI E10 | >14M MCBF |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.