GPR™ 진공 엘리베이터는 진공 공정 자본설비에서 정확하고 HV-호환의 웨이퍼 인덱싱을 제공합니다. GPR™ 진공 엘리베이터는 리프팅 플랫폼에 1.5도까지 경사를 허용하는 Genmark Automation의 혁신적인 기술을 특징으로 합니다. GPR™ 진공 엘리베이터는 16” [406 mm] 수직 인덱싱을 제공하며, 50lb까지 들어올릴 수 있습니다. 엘리베이터 translational mechanism 은 Ferro fluidic 및magnetically-coupled seals을 사용하는 대기 환경과는 분리되어 있습니다.
GPR 특허 기술을 통해 서보 제어 로봇이 misaligned cassette, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다.
| Configuration | |
| Wafer Carrier Type | Wafer Cassettes and boats |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter) | 14.125" |
| Body Height |
14.9" travel - 23.1" 16" travel - 25" |
| Axes | 3: Z, Z1, Z2 |
| Range of Motion | Z: 14.9", 16" |
| Performance | |
| Payload | 50 lb |
| Base Operating Pressure | 10E-10 Torr |
| Leak rate | <1*10E-9 std cc/sec |
| Repeatability | |
| Vertical ( Z ) | 0.001" |
| Reliability (MTBF) | >000 hours |
| Environment | |
| Cleanliness | < Class 1 Clean Room Compatible |
| Wafer contact Materials | Aluminum, SS, Viton, Vacuum Grease |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >14M MCBF |
