GPR-GB9 진공 로봇 시스템은 Genmark GPR™의 정확수송 로봇의 최신 시스템이며 수직 스트로크 옵션은 3” 및 6”이 가능 합니다.
GPR-GB9는 정확하고 반복 가능한 인덱싱과 10E-10 Torr의 진공 공정 운용 장비 내 반도체 웨이퍼 수송이 가능합니다. 이 로봇은 300/450mm 호환 진공 웨이퍼/FPD 핸들러에서 현재 가능한 최고 수준의 성능을 달성하기 위해 Genmark Automation의 혁신적인 GPR™ 시스템을 특징으로 합니다.
GPR 특허 기술을 통해 서보 제어 로봇이 misaligned cassettes, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다.
| Configuration | |
| Wafer Sizes |
Wafers up to 450mm Platters and other fixtures |
| Arm Configuration(s) |
2 Link 7.5"-7.5" 2 Link 10.5"-10.5" 2 Link 12.5"-12.5" |
| End Effectors Types | Gravity |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter) | 14" |
| Body Height |
3" travel - 26.2" 6" travel - 29.2" |
| Axes | 3: T, R, Z. |
| Range of Motion |
T: 500°
R (heavy duty arm): Tilt: 1.0° |
| Performance | |
| Payload |
25lbs (standard arms) 33lbs (heavy duty arms) |
| Base Operating Pressure | 10E-10 Torr |
| Leak rate | <1*10E-9 std cc/sec |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| Radial ( R ) | 0.001" |
| Rotational ( T ) | 0.01° |
| Vertical ( Z ) | 0.001" |
| Reliability (MTBF) | >000 hours |
| Environment | |
| Cleanliness | < Class 1 Clean Room Compatible |
| Wafer contact Materials | Aluminum, SS, Viton, Vacuum Grease |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >14M MCBF |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
