AVR-3000 진공 로봇 시스템은 극도로 청결하고 진공 공정 환경에서 매우 정확하고 신뢰성 있는 수송을 제공합니다. AVR-3000은 10E-10 Torr까지 작동 가능합니다.
특수 운동학 및 동작 전달 설계는 로봇 arm의 신속한 운동, zero backlash, 연결부에 적용된 과도한 외부 힘에 대한 강인성을 보증합니다.
중첩 속도 프로필을 갖는 다중-세그먼트 궤적에 대한 향상된 동작 조정은 부드럽고 효율적인 Material 수송을 보증합니다.
AVR-3000은 0.5" 수직 운동력을 갖고 있으며, 다양한 end-effector 옵션으로 사용할 수 있습니다. 이를 통해 로봇은 450mm에 이르는 광범위한 웨이퍼, 포토마스크, FPD를 확장된 방사선 범위로 수송할 수 있습니다.
| Configuration | |
| Wafer Sizes |
Wafers up to 450mm Platters and other fixtures |
| Arm Configuration(s) |
2 Link 5.25"-5.25" 2 Link 7.5"-7.5" 2 Link 10.5"-10.5" 2 Link 12.5"-12.5" |
| End Effectors Types | Gravity |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter) | 9.83" |
| Body Height | 12.77" |
| Axes | 3: T, R, Z |
| Range of Motion |
T: 500° R: - 5.25"-5.25": -7.5",10.5" - 7.5"-7.5": +/- 14.5" - 10.5"-10.5": +/- 20" - 12.5"-12.5": +/- 24" Z: 1" |
| Performance | |
| Payload | 5lb |
| Base Operating Pressure | 10E-10 Torr |
| Leak rate | <1*10E-9 std cc/sec |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| Radial ( R ) | 0.001" |
| Rotational ( T ) | 0.01° |
| Vertical ( Z ) | 0.001" |
| Reliability (MTBF) | >000 hours |
| Environment | |
| Cleanliness | < Class 1 Clean Room Compatible |
| Wafer contact Materials | Aluminum, SS, Viton, Vacuum Grease |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >12.7M MCBF |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
